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Strukturdämpfer: cooler Schutz für heiße Öfen

Siliziumwafer, die unter anderem als Ausgangsprodukte für Solarzellen dienen, werden in speziellen Öfen hergestellt. Bei allen Herstellungsprozessen in den Öfen ist eine optimale Positionierung der Wafer Grundvoraussetzung. Die Beladung der zum Teil weit über 1.000 °C heißen Öfen übernimmt eine vollautomatisierte, per Software gesteuerte Einheit. Damit Fertigungsfehler, Ausschussware und Schäden an der Gesamtkonstruktion ausgeschlossen werden, sind Linearmodule und Drehtisch der Beladungseinheit zusätzlich durch Strukturdämpfer des Typs TUBUS TR-HD gesichert.

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